Manylebau Precision Pum Echel CNC lled-ddargludyddion Siambr gwactod

Galluoedd Melino Monoblock ar gyfer Siambrau Gwactod Lled-ddargludyddion

Dileu weldiau adeileddol i gyflawni heliwm-seliau tynn a chywirdeb mecanyddol uwch mewn siambrau proses.

Mae Xiamen Dazao Machinery yn cynhyrchu monoblockSiambrau gwactod lled-ddargludyddion 5-echel CNC wedi'u peiriannuwedi'i gynllunio ar gyfer systemau gwactod uchel (HV) a systemau gwactod uchel iawn (UHV). Gan ddefnyddio canolfannau melin CNC aml-echel troi a 5-echel ar yr un pryd, mae biledau solet o ddur di-staen 304, 316L, ac Al6061-T6 yn cael eu trosi'n amgaeadau gwactod manwl gywir heb weldiadau strwythurol.

Mae ein galluoedd cynhyrchu yn cefnogi-siarau dyddodiad PVD siâp blwch, siambrau ysgythru plasma, modiwlau clo llwyth wafferi, a llestri adwaith UHV sfferig. Trwy ddileu mandylledd mewnol, gwagleoedd materol, a-diffygion weldio parth yr effeithir arnynt, mae ein5 Echel CNC Peiriannu Semiconductor Siambr wactodMae'r broses yn darparu ffiniau selio sefydlog, sianeli oeri mewnol parhaus, ac afluniad-wynebau fflans am ddim ar gyfer gwneuthurwyr offer byd-eang.

Dadansoddiad Methiant Maes a Pheirianneg Camau Cywiro

Adolygiadau o achosion sylfaenol peirianneg y byd go iawn o osodiadau maes offer lled-ddargludyddion.

1: Micro fflans Siambr Dyddodiad PVD-Cywiro Gollyngiadau

· Gwraidd achos:Profodd cleient offer ffilm tenau Ewropeaidd gyfradd fethiant o 30% yn ystod profion gollyngiadau heliwm ar siambrau PVD dur gwrthstaen siâp bocs wedi'u peiriannu gan werthwr etifeddiaeth. Datgelodd dadansoddiad methiant farciau porthiant microsgopig a gwyriad gwastadrwydd fflans o fwy na 0.05 mm ar draws yr wyneb selio.

· Gweithred Peirianneg:Fe wnaethom gyflwyno melino drych gan ddefnyddio geometreg torrwr melino wyneb arbenigol wedi'i ddilyn gan lapio dwylo manwl gywir. Daethpwyd â gwastadrwydd arwyneb o fewn Llai na neu'n hafal i 0.02 mm/m a gostyngwyd y garwedd i Ra 0.4 µm. Pobcydrannau dur di-staen wedi'u peiriannu'n fanwlmae rhediad bellach yn cael ei brofi sbectromedr màs heliwm 100% cyn ei anfon, gan godi cyfraddau derbyn y cynulliad i 100%.

2: Lliniaru All-nwyo mewn Llestri Adwaith UHV Spherical

· Gwraidd achos:Adroddodd sefydliad ymchwil fod pwysau sylfaenol yn arafu ar 10 ^-7 Pa y tu mewn i siambr uhv sfferig gyda fflansau cf wedi'u gwneud o SS304 safonol. Roedd cyfraddau treuliad uchel oherwydd halogiad arwyneb mewnol a lleithder wedi'i ddal yn atal pwmpio i lawr i'r lefel ofynnol o 10^-9 Pa.

· Gweithred Peirianneg:Fe wnaethom newid y fanyleb deunydd i - garbon isel SS316L, integreiddio cylch degas anelio gwactod 900 gradd, a gweithredu electropolishing mewnol i ostwng garwedd arwyneb i Ra Llai na neu'n hafal i 0.2 µm. Yn dilyn golchi ultrasonic ystafell lân a phobi dan wactod, cyrhaeddodd y gwactod eithaf 10^-9 Pa y tu mewn i'r fanyleb.

3: Llwyth Lock Siambr Ffans ysbio dan bwysau Beicio

· Gwraidd achos:Canfu gwneuthurwr offer wafer golli gwactod cynyddol mewn dyluniad siambr clo llwyth lled-ddargludyddion ar ôl chwe mis o weithredu. Rhyddhaodd fent cyflym-i-beicio pwysau gwactod, straen peiriannu gweddilliol, gan wario fflans y prif ddrws selio 0.03 mm.

· Gweithred Peirianneg:Fe wnaethom sefydlu proses lleddfu straen dau-gyfnod: melino garw → anelio thermol → lled-gorffen → sefydlogi thermol eilaidd → melino gorffeniad 5{-echel gydag offeryn-llwybr micro-iawndal. Arddangos ystof drysau clo llwyth ôl-addasu Llai na neu'n hafal i 0.01 mm ar ôl 10,000 o gylchoedd pwysau.

Gwahaniaethwyr Technegol ar gyfer Gwneuthuriad Gwactod Uchel -

Llifau gwaith metelegol a phrofi safonol sy'n gwahanu siambrau gradd lled-ddargludyddion oddi wrth siopau peiriannau masnachol.

1. Selio Gwactod Graddedig & Dilysiad Gollyngiad Heliwm 100%:

· Safon Gwactod Uchel (HV):Cyfradd gollwng heliwm Llai na neu'n hafal i 1×10^-10 Pa·m³/s. Wedi'i optimeiddio ar gyfer systemau PVD, cloeon llwyth, a modiwlau trosglwyddo.

· Ultra{0}}Safon Gwactod Uchel (UHV):Cyfradd gollwng heliwm Llai na neu'n hafal i 1×10^-12 Pa·m³/s. Wedi'i lunio ar gyfer ysgythru plasma a systemau dadansoddi wyneb.

2. Protocol Rheoli Outgassing Deunydd UHV:

· Olrhain llawer materol gyda detholiad aloi pwysedd anwedd isel (SS316L, Al6061-T6).

· Mae prosesu degas thermol gwactod uchel yn tynnu hydrogen wedi'i amsugno o delltau metel mewnol.

· Mae electropolishing yn lleihau mandylledd micro ac amsugno arwynebedd arwyneb.

3. Sefydlogi Straen Llwyth Cylchol:

· Mae anelio thermol dwbl-cam yn dileu straen peiriannu gweddilliol.

· Mae iawndal Toolpath yn atal gwyriad strwythurol o dan lwythi gwasgedd atmosfferig.

Cymharu Perfformiad: Melino 5-Echel Monoblock a Chynulliadau wedi'u Weldio

Gwerthusiad meintiol o gyfanrwydd gwactod, manwl gywirdeb, a chostau gweithredu tymor hir.

Ar gyfer cymwysiadau sydd angen rheolaeth thermol optimaidd neu amddiffyniad rhwystr cyrydiad, mae ein galluoedd peiriannu post yn cynnwys ardystiediganodizing cot caled ac electropolishingopsiynau sy'n cyfateb safonau gwneuthurwr offer.

Tabl Manylebau Technegol

Goddefiannau llym, gorffeniadau wyneb, a safonau arolygu ar gyfer siambrau gwactod.

Safonau Sicrhau Ansawdd ac Arolygu

Protocolau dilysu yn sicrhau integreiddio uniongyrchol i linellau lled-ddargludyddion fab.

Mae ein gweithrediadau gweithgynhyrchu yn rhedeg o dan system rheoli ansawdd ardystiedig ISO 9001:2015. Mae protocolau arolygu yn cwmpasu pob cam o saernïo siambr:

· Archwiliad Deunydd:Mae llawer o ddeunyddiau sy'n dod i mewn yn cael eu gwirio'n gemegol trwy Sbectrosgopeg Allyriadau Optegol (OES). Mae gwiriadau uwchsonig yn gwirio sero ffurfio gwagle mewnol mewn allwthiadau trwchus.

· Arolygiad Erthygl Gyntaf (FAI):Cynhyrchir adroddiadau dimensiwn FAI gan ddefnyddio offer Zeiss CMM cyn rhyddhau rhediadau cynhyrchu swp llawn.

· Yn-Gwiriadau Manwl y Broses:Mae dimensiynau selio critigol, O-geometreg rhigol cylch, a phroffiliau ymyl cyllell ConFlat (CF) yn cael eu gwirio yn ystod gweithrediadau melino.

· Profi Gollyngiad Heliwm 100%:Mae pob siambr wactod siâp blwch uchel yn cael ei gwirio gollyngiadau gan ddefnyddio Synwyryddion Gollyngiadau Sbectromedr Màs Heliwm Pfeiffer sy'n gweithredu yn y modd gwactod.

· Pecynnu Ystafell Lân:Mae rhannau'n cael eu glanhau'n ultrasonic gyda dŵr wedi'i ddad-ïoneiddio, degas pobi gwactod, bagio polyethylen dwbl mewn ystafell lân, a chratio amddiffynnol.

Matrics Dewis Deunydd a Geometreg

Paru priodweddau deunyddiau a siapiau strwythurol i brosesu amgylcheddau nwy ac ystodau gwactod.

· Dur Di-staen 304 / 316L:Selected for operating bakeout temperatures >200 gradd , cemeg proses adweithiol, a gofynion gwactod yn y pen draw o dan 10 ^-7 Pa. SS316L wedi'i nodi ar gyfer prosesau ysgythru plasma clorin a fflworin.

· Alwminiwm 6061-T6:Cymhwysir lle mae angen gwasgariad thermol, llai o bwysau ar gyfer trinwyr wafferi robotig, a chylchredau pwmpio cyflym i lawr. Mae passivation wyneb alwminiwm ocsid yn darparu rhwystr outgassing effeithiol.

· Blwch / Llociau hirsgwar:Yn darparu cyfaint llwytho swbstrad mewnol uchaf. Argymhellir ar gyfer system dyddodiad pvd adeiladu siambr gwactod a modiwlau trosglwyddo awtomataidd.

· Llociau Sfferig / Silindraidd:Yn dosbarthu pwysau pwysau strwythurol yn gyfartal o dan lwythi gwahaniaethol atmosfferig llawn. Yn ddelfrydol ar gyfer siambr uhv sfferig gyda fflansau cf yn gweithredu mewn meysydd dadansoddi gwyddonol ac arwyneb.

Diwydiannau Cymhwysiad Targed

Gwasanaethu OEMs lled-ddargludyddion byd-eang, adeiladwyr offer cotio, a labordai ymchwil wyddonol.

Prosesu Wafferi Lled-ddargludyddion

Cynhyrchu offer lled-ddargludyddion siambr ysgythru plasma, clostiroedd CVD, a modiwlau trawst ïon.

PVD Tenau-Gosod Ffilm

Cyrff siambr monolithig gyda fflansau targed integredig ac oeri mewnol ar gyfer systemau sputtering.

Labordai Ymchwil UHV

Siambrau UHV personol wedi'u hadeiladu ar gyfer ffynonellau golau synchrotron, ffiseg wyneb, a systemau cyflymu gronynnau.

Cynnal a Chadw Offer ac Adnewyddu

Ail{0}}beiriannu ac ailosod yn union-ffittrachywiredd CNC gwactod cydrannau siambrar gyfer llinellau waffer fab etifeddiaeth.

Cael Dyfynbris ar gyfer Siambr Wactod Lled-ddargludyddion

Cwestiynau Cyffredin

 

 

01.Sut ydych chi'n gwahaniaethu rhwng gwactod go iawn yn gollwng a defnydd allan o nwyon yn ystod profion?

Mae gwahaniaethu rhith-ollyngiadau o wir ollyngiadau yn gofyn am brofi cynnydd pwysau a dadansoddi nwy gweddilliol (RGA). Mae anadlu allan (anwedd dŵr yn bennaf) yn achosi cromliniau pwmpio i lawr i wastatau ar bwysau canolraddol, ond mae lefelau codiad pwysedd i ffwrdd dros amser pan fyddant wedi'u hynysu. Mae gwir ollyngiad atmosfferig yn dangos cynnydd parhaus, llinellol mewn pwysedd. Rydyn ni'n datrys gadael allan trwy ddefnyddio anelio gwactod ac electropolishing, ac yn cadarnhau gwir statws gollyngiadau o sero trwy sbectrometreg màs heliwm.

02.Pam dewis alwminiwm 6061-T6 dros ddur di-staen ar gyfer siambrau gwactod lled-ddargludyddion?

Fel yr amlygwyd mewn trafodaethau peirianneg, mae alwminiwm yn cynnig dwysedd 3 × is, dargludedd thermol uwch, ac adferiad pobi cyflymach na dur di-staen. Mae alwminiwm yn naturiol yn ffurfio rhwystr alwminiwm ocsid arwyneb sy'n arddangos treiddiad hydrogen hynod o isel, gan leihau gor-nwyo mewn cyfundrefnau gwactod uchel wrth ostwng pwysau offer a chostau peiriannu.

03.Sut ydych chi'n atal difrod a burrs ar gyllell ConFlat (CF) - flanges ymyl yn ystod peiriannu 5-echel?

Mae cyllell CF-gwefusau selio ymyl angen proffiliau miniog union 90 gradd gyda marciau clebran sero i frathu'n lân i mewn i gasgedi copr rhydd o ocsigen. Rydym yn defnyddio offer torrwr proffil pwrpasol, porthiannau gorffen mân iawn, a thocynnau melino drych. Mae pob ymyl cyllell yn cael archwiliad chwyddo optegol 100% i wirio absenoldeb meicro-burrs neu ymyl rholio drosodd.

04.Pam y gall siambr wactod basio archwiliad CMM statig ond methu profion gollwng heliwm?

Mae peiriannau mesur cyfesurynnau statig (CMM) yn mesur macro-geometreg ond nid ydynt yn gallu canfod micro-mandylledd, porthiant-marcio parhad ar draws wynebau selio, neu glebran arwyneb is-micron. Mae atomau heliwm yn treiddio -rhigolau micro sy'n llithro heibio i chwiliedyddion cyffwrdd CMM. Rydym yn cyfuno melino drych â phrofion sbectromedr màs heliwm 100% o dan wacáu gwactod llawn.

05.Beth sy'n atal fflansau siambr clo llwyth rhag warping yn ystod beicio pwysau aml?

Mae awyrellu-i-gylchu pwysau gwactod yn achosi blinder mecanyddol cylchol ac yn datgloi straen gweddilliol sy'n weddill o felino trwm ymosodol. Rydym yn dileu'r risg hon trwy weithredu anelio lleddfu straen aml-gyfnod rhwng melino garw, lled-orffen, a phasio gorffen manwl gywir 5-echel, gan sicrhau sefydlogrwydd geometrig hirdymor o dan lwythi gwahaniaethol atmosfferig.

06.How mae garwedd arwyneb mewnol (Ra) yn effeithio ar bwysau sylfaen gwactod?

Mae arwynebau mwy garw yn cynnwys copaon microsgopig a dyffrynnoedd sy'n dal lleithder atmosfferig ac yn prosesu nwyon, gan gynyddu'n ddramatig yr arwynebedd sy'n mynd allan o nwyon. Mae electropolisheiddio waliau siambr mewnol o Ra 0.8 µm i lawr i Ra 0.2 µm yn lleihau-ardal wyneb micro effeithiol hyd at 80%, gan gyflymu amseroedd pwmp siambr i gyrraedd pwysau UHV yn y pen draw.

Gofyn am Werthusiad DFM ar gyfer Eich Dyluniad Siambr Lled-ddargludyddion

Cyflwyno'ch lluniadau peirianneg 2D a'ch ffeiliau CAD 3D (STEP, IGES, X_T) ar gyfer asesiad peirianneg.

Mae ein tîm technegol yn darparu adborth manwl Dylunio ar gyfer Gweithgynhyrchu (DFM) a dyfynbrisiau masnachol ffurfiol o fewn 24 awr.

E-bost Technegol Uniongyrchol: Erica@dazaocn.com

Cysylltwch â Ni

Tagiau poblogaidd: Siambr wactod lled-ddargludyddion Peiriannu CNC 5 Echel, gwneuthuriad siambr gwactod uchel iawn, dyluniad siambr clo llwyth lled-ddargludyddion, siambr gwactod uchel siâp blwch, siambr uhv sfferig gyda flanges cf